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| 2007 |
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神奈川县横浜市设立横浜实验室 |
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| 2006 |
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发表与德国Carl Zeiss NTS公司
共同开发、销售的战略的业务合作。 |
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| 2005 |
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2005 美国Radiant Detector Technologies,LLC和Photon Imaging Inc.把X射线检测器事业转给SII NanoTechnology USA Inc. |
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在世界上率先销售配备有FIB、SEM、Ar离子束的三倍电子束仪器(SMI3000TB系列) |
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| 2005 |
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公司本部迁至：日本国东京都中央区 |
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| 2005 |
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在美国加利福尼亚设立SII NanoTechnology USA Inc. |
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发布可对应65纳米半导体制程工艺的光掩膜修复用聚焦粒子束（SIR7000FIB） |
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| 2004 |
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发布与松下电器产业有限公司共同开发的有害物质判定软件（HS Easy） |
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| 2004 |
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2004 在中国上海设立百分之百全额投资的精工盈司电子科技(上海)有限公司。 |
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发布分辨率4mm的FIB和高性能SEM的复合仪器 （SMI3000SE系列） |
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| 2004 |
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发布采用无需液氮检测器的有害物质测量仪（SEA1000A） |
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| 2003 |
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由于公司分割继承了精工电子股份有限公司 的科学仪器事业，同时也获得了销售科学仪器保养消耗品的有限公司（EPOLEAD）的股份 |
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发布分辨率4纳米的聚焦离子束（SMI3000系列） |
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| 2003 |
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SII Microscope更名为SII Nano Technology |
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| 2002 |
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发布可对应90纳米半导体制程工艺的光掩膜修复用聚焦粒子束（SIR5000）。 |
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| 2001 |
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在世界上率先开发75W高输出微小区域膜厚仪，对应微小区域测量（SFT9300系列）。 |
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| 2000 |
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精工电子股份有限公司以开发制造销售小型探针显微镜为目的，设立了公司的前身SII Microscope |
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发布分辨率为5纳米的扫描离子显微镜（SMI2000系列） |
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| 1999 |
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1999 发布配备有CCD检测器的能同时测量多种元素的ICP等离子体发射光谱仪（SPS5000） |
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| 1999 |
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发布小型的便携式X射线荧光元素分析仪（SEA200） |
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| 1998 |
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日本小山工厂取得 ISO14001 认证 |
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发布多功能型SPM系统（SPA-400） |
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| 1998 |
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1998 发布台式小型探针显微镜（Nanopics） |
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| 1997 |
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精工电子工业更名为精工电子股份有限公司 |
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| 1996 |
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发布对应0.18微米设计规则的光刻掩模板(Photo mask)黑白缺陷修正装置(SIR3000) |
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| 1995 |
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发布环境管制型SPM（SPA-300HV） |
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| 1995 |
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精工电子工业以科学仪器产品的保养、消耗品的销售为目的,设立Epolead有限公司 |
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发布扫描型近视野观察用原子力显微镜（SNOAM） |
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| 1994 |
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发布分辨率为10纳米的离子显微镜（SMI9000系列） |
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| 1994 |
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使用对应微小区域测量的X射线荧光元素分析仪在世界上率先实现微小区域50Φμm光束 |
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| 1992 |
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采用微聚焦技术的管球在世界上率先采用微小区域Φ50μm的准直器（SFT3000系列） |
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| 1991 |
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发布原子间力显微镜（AFM）（SFA300） |
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| 1990 |
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发布多功能扫描型探针显微镜对应的探针station(SPI3600) |
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| 1988 |
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采用独自开发的半导体检测器，在世界上率先发布对应微小区域的X射线荧光膜厚仪（SFT8000） |
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| 1987 |
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在日本国内率先发布STM（SAM3000） |
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| 1987 |
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发布配备真空分光器的ICP等离子体发射光谱仪（SPS1200V） |
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| 1986 |
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发布多功能热分析系统SSC5000系列 |
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| 1986 |
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发布FIB分辩率为50纳米的FIB截面加工观察仪（SMI8000系列） |
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| 1986 |
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在电子技术综合研究所的指导下，在日本国内率先成功使用STM观察原子图像 |
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| 1985 |
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SIR1000掩膜修正专用仪器的商品化：利用聚焦粒子束FIB的沉积和刻蚀功能完成对掩膜上纳米级缺陷的修正 |
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| 1983 |
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第二精工舍更名为精工电子工业股份有限公司 |
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| 1980 |
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发布了日本国内第一个由电脑控制的连续型ICP等离子体发射光谱仪（JY-38PⅡ） |
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| 1979 |
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在世界上率先发布热重－差热综合分析仪TG/DTA（SSC560G、SSC560GH） |
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| 1978 |
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发布多波道型ICP等离子体发射光谱仪（JV48P） |
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| 1978 |
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在世界上率先发布不使用放射性同位元素的对应微小区域的台式X射线荧光膜厚仪。（SFT155/156） |
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| 1978 |
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在世界上率先在热分析仪器中导入电脑技术（SSC560） |
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| 1974 |
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推出绝热扫描型微小热量仪（SSC510 |
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| 1973 |
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第二精工舍在静冈县骏东郡小山町设立小山工厂，作为科学仪器事业的制造点 |
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推出分析石油中硫黄的X射线荧光元素分析仪（SFA130） |
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| 1972 |
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第二精工舍为了制造和销售分析・计量仪器设立科学仪器部 |
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| 1971 |
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发布做为商品条形码、开发原子吸光光谱强度计、热分析装置、荧光X射线膜厚线尺 |
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| 1970 |
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第二精工舍为了开发手表以外的新事业领域，在公司内设立RD中心，开始研究开发分析・计量仪器事业领域（科学仪器事业） |
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| 1937 |
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服部钟表店的精工舍的手表部独立后，设立了第二精工舍有限公司（现在为精工电子有限公司） |
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| 1881 |
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服部金太郎通过个人经营开设了钟表零售业服部钟表店（现在为精工有限公司） |
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