精工电子纳米扫描型探针显微镜的新工作站两种型号开始发售
精工电子纳米科技有限公司(简称:SIINT,社长:川崎贤司,总公司:千叶县千叶市)是精工电子有限公司(简称:SII,社长:新保雅文,总公司:千叶县千叶市)的全资子公司,其主要业务是测量分析仪器的生产与销售。本公司于2月1日开始销售配备自动调整测定参数功能的2种新型工作站(「NanoNaviReal、NanoNaviReals」)
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| NanoNaviReal |
NanoNaviReals |
扫描探针显微镜(SPM:Scanning Probe Microscope)是用尖端数nm(纳米,10亿分之一米)细尖探针在样品表面扫描,进行高倍率立体形状观察和物性分析的显微镜。在不需样品前处理的基础上,不仅可以在大气和液体环境中测量,还可以活用在高性能材料,半导体,记录媒体,生物学等广大领域。1986年,精工电子在日本率先成功使用SPM观察原子图像,并与1987年在日本首次开始销售扫描型透过显微镜。而拥有着近30年SPM开发和销售历史的精工电子毋庸置疑成为了行业的领跑者。精工电子SPM是由观察装置的「测定装置※」和控制部分的工作站2个主要单元构成,为用户提供整套的SPM系统。
近年,随着电子设备越来越细微化与高集成化,扫描电子显微镜,光学显微镜,触针式粗度计等过去的测量方法在微小领域的形状和物性分析都变的日趋困难。作为与此相对应的设备,精确至纳米等级的SPM正在被广泛的使用。已成为硅晶片,HDD的表面粗度分析,薄膜的表面形状分析等的标准工具。但是另一方面,以往的SPM存在着对增益控制,扫描频率等测定参数等设定参数方面的困难,必须要熟练的操作人员才能进行正确的测量并且得到值得信赖的结果。因此,现在需要简单操作的SPM。
「NanoNaviReal、NanoNaviReals」标准配置了测定参数的自动调整功能。能自动设定符合样品的最合适的各种参数。根据测定用途使用各种测定装置,因此无论谁都可以简单的实现可信赖的,再现性高的测定。
精工电子集聚长年积累的测量技术生产出的新工作站「NanoNaviReal、NanoNaviReals」和各种测定装置组合的SPM系统「NanoNaviReal系列」,今后,将向半导体,电子设备,有机高分子材料等广大业界进军销售,为提高产品的性能和品质做出自己的贡献。
【主要特征】
1.根据「RealTune」自动调整测定参数
在组合独自开发的各种控制算法,把握样品和探针间的状态的同时,自动地调整控制增益・扫描频率,测定时的力度等各种参数。
2. 一键自动测定
做好力臂和样品的准备,选择测定条件之后,只需进行一次按键。即使是初学者也能简单的测定。因为依靠「RealTune」能进行参数的自动调整,即使操作人员不同,也可以得到信赖性和再现性很高的测定结果。
【部品型号】
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NanoNaviReal
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NanoNaviReals
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OS
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Windows7
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Windows7
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连接机型
(测定装置※)
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Nanocute/S-image
E-sweep/L-traceⅡ
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Nanocute
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功能
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RealTune功能
SIS形式(选配)
闭式回路控制
ACTIVE Q控制对应
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RealTune功能
SIS形式(选配)
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测定数据点
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8192×1024
8192×8192(选配)
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8192×1024
8192×8192(选配)
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尺寸(W)*(D)*(H)
(STATION 主机)
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300× 550× 629mm
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220× 500× 420mm
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【价格】(不含税、不含显示器与设置台)
NanoNaviReal 650万円
NanoNaviReals 500万円
【销售目标台数】(2012年度)
NanoNaviReal 80台
NanoNaviReals 80台
※作为SPM的使用系统,某些情况下需要选择以下装置。(价格是不含税)
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| 可控环境型装置 |
高精度大型样品台装置 |
高分解能小型装置 |
标准小型机型 |
| E-sweep |
L-traceⅡ |
S-image |
Nanocute |
| (850万円~) |
(1,400万円~) |
(650万円~) |
(300万円~) |
本产品的咨询方式
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