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| 聚焦离子束(FIB) |
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小型高性能聚焦离子束SMI3050 |
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从半导体器件到各种材料的研究,,FIB已经成为必不可少的手段。SMI3050聚焦离子束以其卓越的性能,，在进行高精度的微纳米加工以及高清晰度观察方面，深受客户的好评。 |
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SMI3200型聚焦离子束装置 |
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SMI3200是可以直接对应8英寸晶圆的聚角离子束系统。在拥有高清晰度的观察和快速加工等特点的同时，高精度的全自动加工软件,，实现了微纳米加工的无人化操作。 |
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SMI3300型聚焦离子束装置 |
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可对应12英寸晶圆的聚焦离子束系统。全自动的加工软件，高清晰度的观察，高精度的样品加工，大大的提高了晶圆制作过程中的失效检查效率和质量。 |
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