从基本配置到配备双检测器的高级机型的SFT9000系列。可对应各种镀层厚度测量需求。

SPS8000型等离子体发射光谱仪是目前世界上体积最小的单道扫描型发射光谱仪，具有高灵敏度、高精密度及良好的安全性的特点。

SPM型光掩模修复装置、液晶用光掩模修复装置全新上市。