[光掩膜修复(SIR)] 产品列表 | 精工电子纳米科技・SIINT

光掩膜修复(SIR)

	SIR5000型掩板修复装置
	SIR5000型掩板修复装置
	利用聚焦离子束对半导体用遮掩板或者刻线上的缺陷部分进行修复的装置．对Binary和Halftone mask上的微小缺陷以及复杂形状的缺陷进行高精度和低损伤的修复。

	SIR7000FIB型遮掩板修复装置

	利用聚焦离子束对半导体用遮掩板或者刻线上的缺陷部分进行修复的装置。可以对应65nm工艺的新世代Binary和Half tone mask上的微小缺陷以及复杂形状的缺陷进行高精度和低损伤的修复。