高灵敏度X射线荧光元素分析仪 SEA6000VX 的测量案例

膜厚测量案例(1)：Sn-Ag/Cu及Au/Ni/Cu

SEA6000VX HSFinder具备SFT系列设备的标准功能，即：镀层膜厚测量。比如极薄的Au镀层等的膜厚测量，并且能够同时进行膜厚与有害元素的测量。比如：能够测量无铅焊锡镀金、元器件引脚上的Sn镀层、化学Ni镀层中含有的有害元素的浓度。 ■Sn-Ag/Cu的膜厚・组成比测量 皮膜中の有害物質分析（Pb） ・分析区域 ： □1.2mm ・薄膜FP法   ・测量时间 ： 100秒（Pb滤波器)   30秒(无滤波器) ■Au/Ni/Cu的膜厚测量 ・面积 ： □0.2mm ・检量线法测量   ・时间 ： 30秒       厚度 组成比 有害元素   Sn-Ag [µm] Ag [wt%] Pb[ppm] 1 5.34 2.83 291 2 5.3 2.63 297 3 5.31 2.64 347 4 5.34 2.73 303 5 5.31 2.67 329 6 5.33 2.67 334 7 5.33 2.75 291 8 5.3 2.74 262 9 5.35 2.72 303 10 5.36 2.91 308 平均值 5.33 2.73 306.5 标准偏差 0.02 0.09 24.6 CV 0.4％ 3.2％ 8％   Au [µm] Ni[ µm] 1 0.054 5.11 2 0.055 5.11 3 0.054 5.12 4 0.055 5.08 5 0.054 5.1 6 0.055 5.13 7 0.053 5.08 8 0.053 5.09 9 0.054 5.08 10 0.055 5.14 平均值 0.054 5.14 标准偏差 0.008 0.02 CV 1.5％ 0.4％