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能量色散X射线荧光分析仪
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SEA6000VX的特长及测量案例
WEEE、RoHS、ELV对应机型
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原理解说
应用技术
X射线荧光膜厚测量仪(SFT)
 等离子体发射光谱仪(ICP)
热分析、粘弹性仪(TA)
原子力显微镜(SPM)
聚焦离子束(FIB)
光掩膜修复(SIR)
       
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首页>产品一览>X射线荧光元素分析仪(SEA)> 新产品 SEA6000VX>SEA6000VX特点3
 
灵活的操作性
 
高清晰图像

可获得250mm×200mm的20μm以下高清晰度的光学影像,能够进行高精度的图像解析。
高清晰图像

位置指定
在大面积样品图像(左)上的任意地方,只需移动鼠标来确认线路板上的部件编号后,就可进行数码变焦。12倍变焦让操作更自由更简单。

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自动定位

上方照射型的X射线荧光分析仪可通过手动方式进行高度调整,但是安装了激光传感器的SEA6000VX拥有了[自动样品高度测量]的功能,可以自动调整最接近样品的高度,让操作更便捷。同时还可以防止由操作失误所造成的仪器、样品的损坏。

自动定位
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高精度重叠功能

采用了广域光学系统和高精度XY样品台,通过样品图像和扫描图像的完全重叠,可进行大范围的高精度分析。非广域光学系统,在测量凹凸的样品的情况下,样品图像指定的点和扫描图像的点无法一致,分析就变得非常困难。

高精度重叠功能

通过样品图像和扫描图像的重叠,可简单认定目标元素的含有区域。重叠位置精度在100μm以内。 最多3个元素可同时和样品图像的重叠,也可变化重叠的顺序。另外,具有重叠图像的半透明表示和颜色搭配的调整等多种工具,大幅提高了分析的能力。

■高精度重叠功能的Pb分析事例

图1 Pb在最上面的显示示情况 图2 Sn在最上面的显示情况
高精度重叠功能的Pb分析事例

由图1可知A、B都含有铅。从图二可知只有A含有Sn。由此可得知A为焊锡中的铅,B为贴片电阻中的铅。

 
连续测量的报告输出

只需点击一下测量结果即可生成EXCEL。另外,测量结果可在总报告书里对测量信息,测量日期和测量结果等进行确认。通过点击样品编号,还可生成有关测量条件,样品图像,能谱等的A4格式的详细报告书,可直接作为测量结果报告书使用。

连续测量的报告输出
微小区域膜厚测量

SEA6000VX也可对应SFT系列公认的镀层膜厚测量。极薄Au镀层等的膜厚测量自不必说,就连镀层中含有的Pb等的有害物质分析与膜厚测量也可同时进行。例如,可进行无铅焊锡镀层和引线架的Sn镀层,无电解Ni镀层中含有的有害物质的浓度测量。

■Sn-Ag/Cu的膜厚、组成比测量

皮膜中的有害物质分析(Pb)                
分析范围:o1.2mm                       
薄膜FP法                            
测量时间:100秒(Pb滤波器)
               30秒(无滤波器)

■Au/Ni/Cu的膜厚测量

测量面积:o0.2mm
标准曲线法
测量时间:30秒

微小区域膜厚测量

 

 

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